凈化工程

　　凈化工程是指對暴露在產品(如硅片)中的空氣的潔凈度、溫度和濕度進行控制，使產品能夠在一個良好的環境空間內生產和制造。這個環境空間的設計和施工過程可以稱為凈化工程。潔凈室的主要特點是從送風口到回風口的氣流截面是可變的。潔凈室的截面比送風口的截面大得多，不能在整個房間截面或整個房間的工作區域形成均勻的氣流。因此，送風口后面的流線之間的夾角較大或加大，曲率半徑很小。氣流在室內不能單向流動，而是會相互碰撞，產生回流和漩渦。這就決定了潔凈室流型的本質是：突流;非均勻流。